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FIB-SEM-Ar“三束”显微镜在FIB／SEM装置的平台上附加了降低样品损伤的低能Ar离子枪，首次实现了通过一台仪器完成高质量的透射电子显微镜TEM的样品制备。简化了样品整个加工的过程，同时大大提高了加工精度和工作效率。对“三束”显微镜做了介绍。
FIB—SEM—Ar“三束”显微镜
【摘 要】
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FIB-SEM-Ar“三束”显微镜在FIB／SEM装置的平台上附加了降低样品损伤的低能Ar离子枪，首次实现了通过一台仪器完成高质量的透射电子显微镜TEM的样品制备。简化了样品整个加工的
【机 构】
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北京物资学院
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2008年10期
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