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期刊论文
纳米气敏传感器研究进展
纳米气敏传感器研究进展
来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gxwy1305
【摘 要】
:
纳米传感器具有传统的传感器所不能比拟的优越性能.本文介绍了目前纳米传感器的发展概况,重点介绍了纳米气敏传感器的发展.
【作 者】
:
任宏亮
何金田
梁二军
田臻锋
【机 构】
:
郑州大学物理工程学院,郑州轻工业学院技术物理系
【出 处】
:
微纳电子技术
【发表日期】
:
2003年6期
【关键词】
:
纳米传感器
纳米技术
气敏伶感器
金属氧化物半导体
单壁碳纳米管
电容式传感器
nanometer
nanotechnology
nanosensor
gas
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纳米传感器具有传统的传感器所不能比拟的优越性能.本文介绍了目前纳米传感器的发展概况,重点介绍了纳米气敏传感器的发展.
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