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期刊论文
氧化锌薄膜的p型掺杂研究现状
氧化锌薄膜的p型掺杂研究现状
来源 :江苏工业学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jhq0327
【摘 要】
:
ZnO薄膜作为一种多用途的光电材料,一直受到国内外学术界的广泛关注.为了开发ZnO短波长光电器件,首要解决的关键问题是氧化锌的p型掺杂.综述了目前国际上常用的氧化锌p型掺杂
【作 者】
:
袁宁一
李金华
范丽宁
周懿
【机 构】
:
江苏工业学院
【出 处】
:
江苏工业学院学报
【发表日期】
:
2005年4期
【关键词】
:
氧化锌薄膜
P型掺杂
空穴载流子浓度
迁移率
ZnO thin film
p-type doping
hole concentration
mobilit
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ZnO薄膜作为一种多用途的光电材料,一直受到国内外学术界的广泛关注.为了开发ZnO短波长光电器件,首要解决的关键问题是氧化锌的p型掺杂.综述了目前国际上常用的氧化锌p型掺杂方法,对不同方法制备的p型ZnO薄膜的性能进行了分析比较.
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