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在X波段微波源（频率9．4GHz，功率1GW）下，对4种典型介质窗材料（聚四氟乙烯、有机玻璃、低密度聚乙烯及高密度聚乙烯）在真空中进行了微波放电击穿实验，同时考虑了材料的不同表面处理工艺（表面刻槽和抛光）对其击穿特性的影响，对微波击穿后样品的表面形貌进行了宏观和微观分析，实验观测到：介质表面出现了沿微波电场方向的明显树枝状破坏现象，且材料表面处理工艺对其击穿破坏程度有显著影响，认为树枝状破坏通道与施加的微波场有着密切的关系。通过观察透明有机玻璃内部的树枝状破坏，发现树枝既沿介质表面生长，同时也向介质内部发