扫描电镜下的数字散斑相关方法及其应用

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【摘要】

：

对数字散斑相关方法(digital speckle correlation method,DSCM)在扫描电镜(scanningelectron microscope,SEM)下的应用进行了研究。将DSCM与带电液伺服试验系统的SEM结合起

【作者】

：

王怀文刘彩平鞠杨谢和平段庆全

【机构】

：

天津商学院机械工程学院,北京科技大学土木与环境工程学院,中国矿业大学北京市岩石混凝土破坏力学重点实验室,天津

【出处】

：

实验力学

【发表日期】

：

2006年2期

【关键词】

：

【基金项目】

：

国家973计划项目(No.2002CB412705),, 国家自然科学基金(No.10372112),, 北京市教委科委重点实验室项目(No.SYS102900438)共同资助

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对数字散斑相关方法(digital speckle correlation method,DSCM)在扫描电镜(scanningelectron microscope,SEM)下的应用进行了研究。将DSCM与带电液伺服试验系统的SEM结合起来,对二者结合的过程进行了分析,实现了SEM下细微观变形场的测量,扩展了DSCM和SEM的应用范围。为了定量地把握SEM在扫描图像时放大倍数的不稳定性、非线性和内部噪声对DSCM的影响,还对SEM下的DSCM精度和误差进行了实验分析。统计结果表明,SEM下应用DSCM进

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