电子束表面分析的一点注记

来源 :四川大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huangtongfeng
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<正> 人们通常应用10~10~2×keV的电子束来分析表面元素成份,并分为定性分析和定量分析。定性分析是要确定表面的元素组成;定量分析是要确定构成表面元素的浓度和相对比例.近年来,质子荧光分析(PLXE)技术有一个重要的进展,那就是应用改变能量或改变入射角的方法,由一组被测元素的特微X射线计数来测定该元素在表面深度的分布信息。该方法的基本原理是,如果N(E)代表x射线探测器的计数,c(x)为待测痕量元素的浓度分布,则N(E)和C(x)之间有一个积分关系:更多还原
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