【摘 要】
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提出一种优化的PDMS（聚二甲基硅氧烷）-PDMS键合技术,对PDMS基片与PDMS盖片使用不同的预聚物和固化剂配比进行键合.设置了按不同比例键合、氧气等离子体表面处理键合及涂覆液态P
【机 构】
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学电子测试技术重点实验室
【基金项目】
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国家自然基金（61176115）资助
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提出一种优化的PDMS（聚二甲基硅氧烷）-PDMS键合技术,对PDMS基片与PDMS盖片使用不同的预聚物和固化剂配比进行键合.设置了按不同比例键合、氧气等离子体表面处理键合及涂覆液态PDMS键合这三种方法的对比实验,并将其应用于微流控芯片的封装测试.测试结果表明,不同比例键合后的芯片键合强度适宜,可重复利用,高效节能.键合参数：基片和盖片所用预聚体、固化剂质量比分别为10：1和15：1;盖片的固化温度75℃,固化时间40 min.
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