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基于MEMS工艺的AlN压电轮廓模式体波微谐振技术,结构和工艺类似FBAR,但具有频率范围更宽、更高的Q值、体积更小的特点。本文就对该微谐振器国内外发展现状、原理及结构特点、应用前景进行了综合性阐述,并对技术发展遇到的挑战性进行了分析。
RF微谐振器研究进展
【摘 要】
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基于MEMS工艺的AlN压电轮廓模式体波微谐振技术,结构和工艺类似FBAR,但具有频率范围更宽、更高的Q值、体积更小的特点。本文就对该微谐振器国内外发展现状、原理及结构特点、
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所十六专业部
【出 处】
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数字技术与应用
【发表日期】
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2018年6期
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