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本文较详细地介绍了美国杜邦公司４８１５干膜的性能和它在微波器件电路制作，尤其是在孔金属化微波器件电路制作中的应用，提供了在我所现有设备（ＹＺＢ－５００曝光机和ＪＢＡ２０００光刻机）条件下，用４８１５干膜工艺能制作出最精细的电路尺寸和间隙值，即国内的新记录。
杜邦4815干膜应用技术
【摘 要】
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本文较详细地介绍了美国杜邦公司４８１５干膜的性能和它在微波器件电路制作，尤其是在孔金属化微波器件电路制作中的应用，提供了在我所现有设备（ＹＺＢ－５００曝光机和ＪＢＡ２０００光刻机）条件下，用４８１５干膜工艺能制作出
【出 处】
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电子工艺简讯
【发表日期】
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1995年3期
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