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HIC导带缺陷的电学检测与评估
HIC导带缺陷的电学检测与评估
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:heshang9994
【摘 要】
:
介绍了通过测试混合集成电路导带的方块电阻、温度系数等电学特性 ,再经过高温存贮试验考核其质量的稳定性 ,对其质量和缺陷进行评估分析 ,探索导带质量缺陷与电学特性的关系
【作 者】
:
韩孝勇
【机 构】
:
西安电子科技大学
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2000年2期
【关键词】
:
混合集成电路
导带
缺陷
测试
Hybrid integrate circuitConductor filmDefectTestEvaluation
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介绍了通过测试混合集成电路导带的方块电阻、温度系数等电学特性 ,再经过高温存贮试验考核其质量的稳定性 ,对其质量和缺陷进行评估分析 ,探索导带质量缺陷与电学特性的关系 ,为宏观评价导带质量缺陷提供一个快捷的途径。
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