一种低流速气体流量传感器的研制

来源 :浙江大学学报(工学版) | 被引量 : 13次 | 上传用户：hhf1985

【摘要】

：

提出一种基于温差测量原理测量低流速气体流量的方法并进行了实验验证.传感器由一对集成温度传感器芯片与片状铂电阻热源构成,专门设计的片上恒流供电电路保证了热源加热功率的稳定.对该流量传感器样品进行测试,结果表明它能够提供与方根流速近似成线性关系的输出.在低于 0.5 cm/s的低流速下,该传感器具有数十至数百毫伏的输出信号幅度,其测量下限可低至0.5 cm/s.这与理论分析结果基本相符.该流量传感器在

【作者】

：

赵梦恋吴晓波严晓浪

【机构】

：

浙江大学

【出处】

：

浙江大学学报(工学版)

【发表日期】

：

2005年02期

【关键词】

：

低速流体流量传感器集成电路温度传感器 Flow measurement Flow of fluids Gases Integrated circuits

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