【摘 要】
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采用水热法结合后期热处理技术制备了Au/ZnO多孔纳米片,并对其气敏性能进行了详细研究。Au/ZnO样品是由厚度约一二十纳米的多孔纳米片组成;气敏性能测试发现,在紫外光照射下A
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,中国科学院固体物理研究所
【基金项目】
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国家重大科技专项(2017ZX02201002).
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采用水热法结合后期热处理技术制备了Au/ZnO多孔纳米片,并对其气敏性能进行了详细研究。Au/ZnO样品是由厚度约一二十纳米的多孔纳米片组成;气敏性能测试发现,在紫外光照射下Au/ZnO多孔纳米片结构对NO 2气体具有室温响应,检测限为100ppb。Au/ZnO传感器对100ppb NO 2气体的响应时间是21.5s,恢复时间是7s,灵敏度是1.25。当NO 2气体浓度增加到50ppm时,Au/ZnO传感器的灵敏度增加到138.3,是纯ZnO传感器的2.9倍。分析认为,Au/ZnO优异的室温气敏性能是由于
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