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1m口径非球面主镜面型检测结果分析
1m口径非球面主镜面型检测结果分析
来源 :现代工业经济和信息化 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kpdavid
【摘 要】
:
介绍了三种常用非球面镜片面型精度的检测方法。在用干涉仪对非球面大口径主反射镜进行检测时,由于使用了辅助平面镜,得到的检测结果并不是主镜的真实面型精度。综合考虑干涉
【作 者】
:
孙宁
于帅北
赵天骄
【机 构】
:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院大学
【出 处】
:
现代工业经济和信息化
【发表日期】
:
2015年23期
【关键词】
:
非球面
主反射镜
辅助平面镜
干涉测量
Zernike多项式
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介绍了三种常用非球面镜片面型精度的检测方法。在用干涉仪对非球面大口径主反射镜进行检测时,由于使用了辅助平面镜,得到的检测结果并不是主镜的真实面型精度。综合考虑干涉仪测量结果和辅助平面镜面型精度的Zernike多项式,得到了某1 m口径抛物面主镜的实际面型精度。
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