【摘 要】
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以H2SO4 900 g/L、Na NO3 100 g/L和Na Cl 1 g/L体系为基础,通过添加整平缓蚀剂和黄烟（NO2）抑制剂,得到了一种操作简单、无黄烟、对基材低腐蚀的铜及铜合金光亮浸蚀新工艺。经
【机 构】
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中国电子科技集团第三十八研究所表面处理分厂
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以H2SO4 900 g/L、Na NO3 100 g/L和Na Cl 1 g/L体系为基础,通过添加整平缓蚀剂和黄烟（NO2）抑制剂,得到了一种操作简单、无黄烟、对基材低腐蚀的铜及铜合金光亮浸蚀新工艺。经过铜片出光效果及黄烟抑制试验,确定聚乙二醇为缓蚀剂、尿素为黄烟抑制剂,用量依次为3~5 g/L和5~10 g/L。研究表明,新工艺中氮氧化物释放量约为旧工艺的22.4%,浸蚀时间在10~120 s、空中停留60 s对试片外观无影响。该工艺适用于自动生产线操作。
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