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研制了一种压电陶瓷驱动的微步进机构,介绍了步进机构的工作原理,进行了可行性实验,测试了步进机构的步长和动态响应性能,给出了运动速度的近似公式.实验表明,该步进机构能够实现高速度、小步长(纳米至微米级)、大行程的步进运动.
压电陶瓷驱动的微步进机构研制
【摘 要】
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研制了一种压电陶瓷驱动的微步进机构,介绍了步进机构的工作原理,进行了可行性实验,测试了步进机构的步长和动态响应性能,给出了运动速度的近似公式.实验表明,该步进机构能够
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2004年4期
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