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透射式碲铷光电阴极的工艺和特性研究
透射式碲铷光电阴极的工艺和特性研究
来源 :中国电子学会真空电子学分会第十二届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xpzcz1987
【摘 要】
:
该文主要介绍紫外敏感的铷光电阴极的工艺和特性研究,采用“分步重复”和微碲处理等工艺手法,可有效地提高光电阴极灵敏度(≥15mA/W)和改善光谱性能(185-320nm)。同时对其日盲性能进行探讨,得出该阴
【作 者】
:
赵文锦
【机 构】
:
电子器件研究所
【出 处】
:
中国电子学会真空电子学分会第十二届学术年会
【发表日期】
:
1999年9期
【关键词】
:
光电阴极
日盲
灵敏度
暗电流
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该文主要介绍紫外敏感的铷光电阴极的工艺和特性研究,采用“分步重复”和微碲处理等工艺手法,可有效地提高光电阴极灵敏度(≥15mA/W)和改善光谱性能(185-320nm)。同时对其日盲性能进行探讨,得出该阴极的日盲特性的日盲特性和暗电流特性优于同类碲铯、碲铯光电阴极的结论。
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