【摘 要】
：
研究了抛光液pH值、酒石酸钾（PTH）、双氧水（H2O2）和硅溶胶对钴插塞和钛阻挡层的去除速率及选择比的影响,并讨论了前3种因素与钴和钛电偶腐蚀的变化关系。采用正交抛光实验探讨了
【机 构】
：
河北工业大学电子信息工程学院; 天津市电子材料与器件重点实验室;
【基金项目】
：
国家科技重大专项资助项目(2016ZX02301003-004-007);河北省自然科学基金资助项目(E2019202367);河北省自然科学基金青年基金资助项目(F2015202267);河北工业大学优秀青年科技创新基金资助项目(2015007)
论文部分内容阅读
研究了抛光液pH值、酒石酸钾（PTH）、双氧水（H2O2）和硅溶胶对钴插塞和钛阻挡层的去除速率及选择比的影响,并讨论了前3种因素与钴和钛电偶腐蚀的变化关系。采用正交抛光实验探讨了各因素对钴和钛抛光速率的主导度,利用塔菲尔曲线研究了各因素对钴和钛腐蚀电位差的影响趋势。结果显示,升高pH值（由8到10）可大幅降低钴的去除速率至27.7 nm/min,而对于钛的去除速率无明显影响;PTH的引入可同时提高钴与钛的去除速率,并降低二者腐蚀电位差;H2O2的增加可有效降低钴的去除速率而同时增大钛的去除速率。因此,升高pH值有利于实现钴和钛的去除速率一致性;固定pH值而改变PTH和H2O2体积分数可实现钴与钛的去除速率及选择比可控。
其他文献
一用新编初级中学课本平面几何进行教学的要求是:使学生掌握有关直线、角、平行线、三角形、多边形、圆的一些概念和性质,多边形和圆的面积公式以及三角形的解法,能够运用这
针对某隧道工程的特点,对锚网喷施工技术要点进行了详细介绍,指出锚网喷施工技术对V类围岩不良地质条件有明显的改良作用。
通过对老五甑和新五甑两种工艺试验比对,开展两种工艺窖池酒体产量、理化、感官及窖泥变化分析,发现新五甑比老五甑出酒率高约4.4%,总己酸乙酯高约27.2%,总酯高约28.8%,总酸
根据2010年全国分县行政区划电子地图、第六次人口普查结果等数据,运用地理信息系统和理论性演绎分析等手段分析中国人口分布、流动趋势与耕地利用情况.结果表明,2010年中国
立方晶系金属材料在工程上有着广泛的应用,其多晶体具有各向同性的力学及物理性质。材料的变形机理及其相关研究对工程设计的指导意义重大,尤其对于在高温等严苛环境下服役的
<正>11月27日,由中国建设报社、中国城科会中小城市分会主办的2016(第三届)新型城镇化暨中小城市发展大会在湖北省宜昌市举行。本次会议的主题是"生态、智慧、创新"。本次会
青光眼是全球第二大致盲眼病、不可逆性盲最主要的原因。新型前列素类青光眼治疗药物——贝美前列素滴眼液(Bimatoprost)2001年上市后受到普遍欢迎,目前已成为欧美治疗开角型
目的研究桑黄粗多糖对小鼠免疫功能的影响。方法将40只健康小鼠小鼠随机分组,①蒸馏水组②桑黄粗多糖高、中、低剂量组。观察计算腹腔巨噬细胞吞噬指数及吞噬率、外周血淋巴
囊性纤维化(CF)是由编码囊性纤维化跨膜传导调节蛋白(CFTR)的基因突变引起的遗传性疾病。CF在我国发病率低,但是具有死亡率极高、中位生存期短的特点。本文介绍了CFRP在CF中
<正> 监护是民事主体制度中的一项重要制度,它通过为无民事行为能力人和限制民事行为能力人设立保护人,来保护他们的人身权利和财产权利,同时维护正常的社会秩序。建国以来我