【摘 要】
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在西部半导体展览会上,UltratechStepper公司已展出了世界上第一台可变孔径(即:可变光阑)的分步重复曝光机:Ultrastep 1100—4035。 该机的光学透镜由五种光学元素组成,为1:
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在西部半导体展览会上,UltratechStepper公司已展出了世界上第一台可变孔径(即:可变光阑)的分步重复曝光机:Ultrastep 1100—4035。 该机的光学透镜由五种光学元素组成,为1:1分步重复曝光机,具有在大视场下兼顾
At Western Semiconductor, UltratechStepper has unveiled the world’s first stepper with a variable aperture (ie iris): the Ultrastep 1100-4035. The machine’s optical lens consists of five optical elements, a 1: 1 stepper repeat exposure machine, with both in the field of view both
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Monoc
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