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全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会（以下简称电子气会）第三届四次会议于2008年6月16～20日在湖南省张家界市顺利召开。
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会三届四次会议召开
【摘 要】
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全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会（以下简称电子气会）第三届四次会议于2008年6月16～20日在湖南省张家界市顺利召开。
【机 构】
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全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2008年4期
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