【摘 要】
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在介绍激光干涉仪的工作原理后,并用激光干涉仪对测量仪工作平台进行了误差检测。运用分段插补数学模型进行定位精度的补偿,得出了2组的实验数据,误差产生的原因以及证实了补
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在介绍激光干涉仪的工作原理后,并用激光干涉仪对测量仪工作平台进行了误差检测。运用分段插补数学模型进行定位精度的补偿,得出了2组的实验数据,误差产生的原因以及证实了补偿的有效性。
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