【摘 要】
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上个世纪人类最伟大的进步之一是微电子技术的发展,伴随着微电子技术的发展,一项全新的技术——MEMS(Micro Electromechanical System),即微电子机械系统悄然诞生,并获得迅猛的发展
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上个世纪人类最伟大的进步之一是微电子技术的发展,伴随着微电子技术的发展,一项全新的技术——MEMS(Micro Electromechanical System),即微电子机械系统悄然诞生,并获得迅猛的发展。
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