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首先在低温下制备了粒径小于10nm的ZnO纳米晶，然后采用旋口法制备了ZnO纳米晶薄膜，XRD分析ZnO晶相是纤锌矿结构；SEN与AFM表明，纳米晶薄膜在300℃退火后薄膜的厚度明显地减小到130nm（未退火200nm），粒径明显增大，表面粗糙度减少到3．27nm（未退火4．89nm）；紫外-可见吸收和透射比光谱表明，随着退火温度的增加，吸收边发生了红移，吸收肩更明显，薄膜具有高的透射率（75—85％），随着温度增加薄膜方阻增大，300℃以下退火方阻增加很小（小于8．5Ω／sq），400℃以上退火方阻大幅