新型长波长半导体激光器材料GaInNAs

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：shenkan8009

【摘要】

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对新型长波长半导体材料GaInNAs进行了述评.通过材料性质的介绍,表明GaInNA s材料是一种很有前景的长波长半导体材料.同时介绍了目前GaInNAs材料的几种主要制备手段并进行了

【作者】

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俞波韩军李建军邓军廉鹏沈光地

【机构】

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北京工业大学电控学院,北京市光电子技术实验室

【出处】

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半导体技术

【发表日期】

：

2005年2期

【关键词】

：

GAINNAS 氮化物 VCSEL GaInNAs nitrides VCSEL

【基金项目】

：

国家高技术研究发展计划(863计划)

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对新型长波长半导体材料GaInNAs进行了述评.通过材料性质的介绍,表明GaInNA s材料是一种很有前景的长波长半导体材料.同时介绍了目前GaInNAs材料的几种主要制备手段并进行了比较,指出了目前MOCVD生长GaInNAs材料存在的难点.介绍了目前国际上基于GaInNAs材料的长波长VCSEL的器件研究情况.

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