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文章研究了能量为90 kev的电子辐照对kapton h薄膜化学结构的影响.xps分析表明,低能电子辐照导致kapton h薄膜分子结构中c-n和c-o键的断裂,以及c＝o键的断裂和重组,并且有部分键断裂后交联.随着辐照剂量及辐照能量的增加,材料中的c-n、c＝o键含量减少,形成表面碳富集.辐照使柔性结构c-o键被破坏,产生的交联及以苯环为主的三维立体网状结构使其表面硬度增加.