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微型机械电子系统（MEMS）是近年来研究的热点，其中微夹持器的研究受到越来越多的关注。文中采用有限元软件ANSYS对平行梁结构电热微夹持器进行了数值仿真分析，模拟出微夹持器的输出位移、末端刚度、夹持力与响应时间等性能参数随结构尺寸的变化情况，并对仿真的结果进行了讨论。
电热微夹持器的结构设计与数值仿真分析
【摘 要】
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微型机械电子系统（MEMS）是近年来研究的热点，其中微夹持器的研究受到越来越多的关注。文中采用有限元软件ANSYS对平行梁结构电热微夹持器进行了数值仿真分析，模拟出微夹持器的输
【机 构】
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燕山大学机械工程学院,燕山大学继续教育学院
【出 处】
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机械设计
【发表日期】
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2008年11期
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