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根据磨料水射流抛光加工工艺要求，设计了一套以比例阀和溢流阀为流量调节元件的抛光液供给系统。但由于溢流阀在调节过程中的正反行程工作曲线不重合，导致系统存在较大的迟滞及非线性。针对这一情况，采用了前馈逆补偿及PID反馈的复合控制策略。并基于TMS320F2812DSP数字控制器，完成了传统PID控制策略和逆补偿复合控制策略的阶跃响应效果对比实验。结果表明，逆补偿复合控制策略能很好的改善系统响应品质，超调量和响应时间得到了明显减少，实现了抛光液射流流量的快速、高精度控制。