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文章对生产多晶硅的改良西门子法,其副产物四氯化硅氯氢化制备三氯氢硅的工艺方法进行比较分析,对喷动流化床为核心设备的原理、结构、特点进行全面分析介绍,提出使用喷动流化床为核心设备的氯氢化工艺,归纳出最小喷动流化气速关联式,为喷动流化床的氯氢化技术工程化奠定了重要基础。
喷动流化床在四氯化硅氯氢化工艺的应用研究
【摘 要】
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文章对生产多晶硅的改良西门子法,其副产物四氯化硅氯氢化制备三氯氢硅的工艺方法进行比较分析,对喷动流化床为核心设备的原理、结构、特点进行全面分析介绍,提出使用喷动流
【机 构】
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四川化工职业技术学院,成都学院
【出 处】
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广东化工
【发表日期】
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2016年17期
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