【摘 要】
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本文主要叙述用离子注入法与热扩散法相结合生产扩散型力敏器件的方案论证、工艺参数的选择及注入剂量计算方法。报导了用本文所介绍的方法生产出的力敏器件的性能和应
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本文主要叙述用离子注入法与热扩散法相结合生产扩散型力敏器件的方案论证、工艺参数的选择及注入剂量计算方法。报导了用本文所介绍的方法生产出的力敏器件的性能和应
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