【摘 要】
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氮在硅单晶中有特殊的作用 ,它对于硅性能的影响正在被深入地研究 ,目前正成为硅单晶科学技术发展的前沿之一。1 .Ⅴ族元素磷、砷、锑和Ⅲ族元素硼、铟、铝等分别分为硅半导
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氮在硅单晶中有特殊的作用 ,它对于硅性能的影响正在被深入地研究 ,目前正成为硅单晶科学技术发展的前沿之一。1 .Ⅴ族元素磷、砷、锑和Ⅲ族元素硼、铟、铝等分别分为硅半导体的施主和受主。而氮作为5族元素在硅中不是施主杂质不取替代位置。( 1 )一般认为氮是以双原子氮对形式存在于硅晶体中 ,具体的微观结构有各种不同的观点 ,有待进一步研究。( 2 )硅中氮对单晶的电学性能有影响 ,研究发现了氮对氧施主的影响 ,氮对热施主的微弱影响和对新施主的抑制作用。含氮硅单晶经 6 5 0～ 80 0℃热处理又发现新的施主效
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