【摘 要】
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主要探讨了微电子机械系统中普遍存在的失效模式及机理，对几种没有明确对应模式的失效机理也做了介绍。最后针对一种具体的微机械开关器件，研究了它的可靠性问题，给出了相应的可
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主要探讨了微电子机械系统中普遍存在的失效模式及机理，对几种没有明确对应模式的失效机理也做了介绍。最后针对一种具体的微机械开关器件，研究了它的可靠性问题，给出了相应的可靠性提出措施。该微机械开关主要受限于两种失效模式，其中结构粘附主要发生在结构释放工艺，大大降低了成品率；而金属接触电极之间的压降引起的电弧现象，则对开关的工作寿命形成了严重限制。通过对几种结构释放工艺的比较，指出SCCO2是最佳的释放措施，并比较了几种不同的金属接触电极以降低电弧效应。该微机械开关的工作寿命已由初期的10^6开关次数提高到了普
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