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基于分栅闪存存储器的擦除能力是评估其单元性能的关键参数,阐述现有制程调节分栅闪存存储器擦除能力的方法。提供一种新的方法通过控制侧壁氧化物的剩余厚度来调节分栅快闪存储器擦除能力,并讨论其优势所在。
一种新的调节分栅闪存存储器擦除能力的方法
【摘 要】
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基于分栅闪存存储器的擦除能力是评估其单元性能的关键参数,阐述现有制程调节分栅闪存存储器擦除能力的方法。提供一种新的方法通过控制侧壁氧化物的剩余厚度来调节分栅快闪
【机 构】
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上海华虹宏力半导体制造有限公司
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2021年4期
【基金项目】
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上海市经济和信息化委员会软件和集成电路产业发展专项基金(1500223)。
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