【摘 要】
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采用微波辅助化学浴沉积法在玻璃衬底上制备了氧化锌（ZnO）薄膜。初步探讨了化学浴沉积法制备ZnO薄膜的反应机理。X射线衍射分析结果表明所得的ZnO薄膜为六方纤锌矿结构的多晶薄
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采用微波辅助化学浴沉积法在玻璃衬底上制备了氧化锌（ZnO）薄膜。初步探讨了化学浴沉积法制备ZnO薄膜的反应机理。X射线衍射分析结果表明所得的ZnO薄膜为六方纤锌矿结构的多晶薄膜，不具有任何晶面的择优生长取向；随着反应时间从15min延长至30min，薄膜结晶性能提高，晶粒尺寸从27nm长大到73nm。扫描电子显微镜分析显示反应沉积12min时，薄膜比较均匀、致密，无裂纹出现；反应沉积25min后，薄膜厚度增加，同时出现开裂现象。
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