【摘 要】
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用传输矩阵方法,在简化的光学模型基础上,分别讨论了分布式Bragg反射镜DBR (Distributed Bragg Reflector)的生长精度及镜面起伏对1.55 μm Si基MEMS (Micro-Electro- Mechan
【机 构】
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中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划(973计划),国家自然科学基金,国家高技术研究发展计划(863计划)
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用传输矩阵方法,在简化的光学模型基础上,分别讨论了分布式Bragg反射镜DBR (Distributed Bragg Reflector)的生长精度及镜面起伏对1.55 μm Si基MEMS (Micro-Electro- Mechanical-System)可调谐光滤波器透射谱的影响.计算表明:DBR生长误差仅使主透射峰位置发生变化,而镜面起伏是导致主透射峰性能劣化的主要原因,它使得FWHM增大,透射峰强度下降.理论计算结果能较好地解释实验现像.在此基础上,进一步讨论了引起镜面起伏的多种原因,并提出了可
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