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大口径溶胶-凝胶化学膜的光学性能指标主要由膜层厚度和折射率决定,提拉法制备工艺的关键技术就是对这两个参数进行精确控制。通过优化胶体制备工艺,并利用椭圆偏振法测量化学膜膜厚及折射率变化情况,获得了提拉速度模型,并进行了实验验证,为大口径化学膜高性能指标提供了技术和工艺保证。
大口径溶胶-凝胶光学膜层提拉制备工艺控制
【摘 要】
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大口径溶胶-凝胶化学膜的光学性能指标主要由膜层厚度和折射率决定,提拉法制备工艺的关键技术就是对这两个参数进行精确控制。通过优化胶体制备工艺,并利用椭圆偏振法测量化
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2018年A01期
【基金项目】
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国家自然科学基金（61405180）
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