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利用GaN MOCVD设备的气源输运系统结构,分析了单稀释MO源管路和双稀释MO源管路的工作原理及特点,提出了MO源摩尔流量的计算公式和一种零死区管路设计方案;并且把管路压差控制和气体自动补偿技术应用到了MOCVD设备中。
MOCVD气源输运技术研究
【摘 要】
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利用GaN MOCVD设备的气源输运系统结构,分析了单稀释MO源管路和双稀释MO源管路的工作原理及特点,提出了MO源摩尔流量的计算公式和一种零死区管路设计方案;并且把管路压差控制
【机 构】
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华中科技大学机械科学与工程学院
【出 处】
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机械与电子
【发表日期】
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2014年03期
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