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详细介绍了近距离升华(CSS)薄膜装置的研制及其特性.并对利用该装置及利用射频溅射沉积的CdTe膜的结构进行了XRD分析.结果表明,CSS方法所得CdTe膜具有较大的晶粒尺度,结晶效果更好.
近距离升华薄膜装置的研制及特性
【摘 要】
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详细介绍了近距离升华(CSS)薄膜装置的研制及其特性.并对利用该装置及利用射频溅射沉积的CdTe膜的结构进行了XRD分析.结果表明,CSS方法所得CdTe膜具有较大的晶粒尺度,结晶效
【机 构】
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新疆大学物理系
【出 处】
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新疆大学学报：理工版
【发表日期】
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2001年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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