论文部分内容阅读
本文介绍了几种光CVD试验装置,总结了光CVD原理以及光CVD技术在半导体工艺中的应用。
用于半导体工艺中的光CVD技术
【摘 要】
：
本文介绍了几种光CVD试验装置,总结了光CVD原理以及光CVD技术在半导体工艺中的应用。
【机 构】
：
西北电讯工程学院,
【出 处】
：
微电子学与计算机
【发表日期】
：
1988年02期
其他文献
应用土壤培养法和硝酸盐消失法对北京低山区森林土壤的硝化和反硝化作用分别进行了研究．结果表明：①森林土壤有较强的硝化活性，且表土层比底层土强，同时根际土利于硝化作用进行，根际效应Ｒ／Ｓ在４５左右；②淹水厌气培养２４ｈ，ＮＯ－３Ｎ的消失率为５２％～５８％，占第１０天的５５％～７１％，且表土层ＮＯ－３Ｎ的消失率比底层土大；③参与同化反硝化作用的还原酶活性较强，在培养２４ｈ后，被还原的基质数量占加入
了解目标市场的购买行为是市场营销观念指导下的营销管理的主要任务。消费者市场包括所有为个人消费而购买或取得产品和服务的个人及家庭。消费者在年龄、收入、教育程度及
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
基于知识网格在整合知识资源方面的优势，分析了知识网格环境下客户协同产品创新知识共享的特征，提出了知识共享模型，并对其关键研究点进行了深入研究。通过提出“创意一问题一功
作者在杉木－火力楠混交林、马尾松－木荷混交林及对照纯林内进行标准地调查。并分析各标准地的可燃物载量与分布情况，从而得出防火林带和针阔混交林的防火机理①针阔混交林的林冠