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【摘要】

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<正> 日本微电子技术的进展日本 Nikon 公司已开始研制制造16 Gbit 动态随机存储器(DRAM)所需用的设备,即适用于大量生产线宽0.1μm半导体元件的 X 射线去放大(demagnificati

【出处】

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现代职业安全

【发表日期】

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1995年01期

【关键词】

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半导体设备 PCMCIA 图形加速器动态随机存储器快闪存储器海外新闻光盘录像机 NEC 电子公司

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<正> 日本微电子技术的进展日本 Nikon 公司已开始研制制造16 Gbit 动态随机存储器(DRAM)所需用的设备,即适用于大量生产线宽0.1μm半导体元件的 X 射线去放大(demagnification)投影校准仪。Nikon 公司与 Sortec 公司合作,用13nm 和4.5nm X 射线已分别获得了0.15μm和0.05μm线路图。该公司的目标是,到1999年提供能大量生产的

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