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本文介绍氩、硼离子注入的增强退火效应.四探针测试显示在500℃左右有低的薄层电阻R值,SEM观察和拉曼谱观察表明,注入区的晶格损伤得到了很好的恢复.
双离子注入增强退火效应的研究
【摘 要】
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本文介绍氩、硼离子注入的增强退火效应.四探针测试显示在500℃左右有低的薄层电阻R值,SEM观察和拉曼谱观察表明,注入区的晶格损伤得到了很好的恢复.
【机 构】
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上海科学技术大学,上海科学技术大学
【出 处】
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应用科学学报
【发表日期】
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1989年1期
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