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阐明了微机电系统(MEMS)的学科内涵，概述了体微机械加工技术、表面微机械加工技术和复合微机械加工技术的特点，运用具体实例对三种硅基微机械加工技术的基本制作工艺过程进行了讨论。
硅基微机械加工技术
【摘 要】
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阐明了微机电系统(MEMS)的学科内涵，概述了体微机械加工技术、表面微机械加工技术和复合微机械加工技术的特点，运用具体实例对三种硅基微机械加工技术的基本制作工艺过程进行了
【机 构】
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中物院电子工程研究所先进传感器与执行器研究中心
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2001年8期
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