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在研制压阻式扩散硅压力传感器中，除了采用常规的平面工艺以外，还需要几项特殊的，重要的新技术，新工艺，简要地论述真空静电封接技术，异向蚀刻技术以及减少层措的三氯乙烯氧化工艺等。
硅压力传感器的新技术
【摘 要】
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在研制压阻式扩散硅压力传感器中，除了采用常规的平面工艺以外，还需要几项特殊的，重要的新技术，新工艺，简要地论述真空静电封接技术，异向蚀刻技术以及减少层措的三氯乙烯氧化工艺等
【机 构】
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福州大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1995年1期
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