【摘 要】
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通过采用单因素变量法对氯化氢合成系统进行调试,找出影响氯化氢含水量的主要因素,主要包括:原料氯气含水量、合成炉运行负荷、合成炉石墨内筒渗水量、冷凝器冷媒温度.提出控
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通过采用单因素变量法对氯化氢合成系统进行调试,找出影响氯化氢含水量的主要因素,主要包括:原料氯气含水量、合成炉运行负荷、合成炉石墨内筒渗水量、冷凝器冷媒温度.提出控制氯化氢中水含量的相应措施,使之达到进三氯氢硅合成系统的要求.
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