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MIS电容器的平带电容的计算
MIS电容器的平带电容的计算
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chsmfzh
【摘 要】
:
研究半导体表面态常用C-V法,关键是要确定MIS电容器的平带电容的值。
【作 者】
:
龚道本
【机 构】
:
中南民族学院
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
1996年1期
【关键词】
:
电容器
MIS电容器
绝缘层电容
平带电容
Capacitor
MIS Capacitor
Isolation Layer Capacitance
Flat-
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研究半导体表面态常用C-V法,关键是要确定MIS电容器的平带电容的值。
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