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作者设计和制作了膜厚自动监控系统。利用该系统能准确控制λ／４膜层的极值厚度，其误差＜３％。该方法快速，有效，成本低廉，易于推广应用，实验结果表明，研究方法是成功的。
微机监控光学膜厚方法的实验研究
【摘 要】
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作者设计和制作了膜厚自动监控系统。利用该系统能准确控制λ／４膜层的极值厚度，其误差＜３％。该方法快速，有效，成本低廉，易于推广应用，实验结果表明，研究方法是成功的。
【机 构】
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四川大学,四川大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1994年2期
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