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Epitaxy of SiGe Layers by Ultrahigh Vacuum Chemical Vapor Deposition
Epitaxy of SiGe Layers by Ultrahigh Vacuum Chemical Vapor Deposition
来源 :黑龙江科技学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sorry314
【摘 要】
:
为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7
【作 者】
:
LUO Guangli
CHEN Peiyi
QIAN Pe
【机 构】
:
Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing 100084, China
【出 处】
:
黑龙江科技学院学报
【发表日期】
:
2000年2期
【关键词】
:
SiGe
chemical vapor deposition (CVD)
Raman scattering
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为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7<
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