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宽禁带半导体β-Ga2O3单晶的研究进展
宽禁带半导体β-Ga2O3单晶的研究进展
来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yayiye
【摘 要】
:
本论文综述了宽禁带半导体β-Ga2O3材料的研究进展,包括晶体结构,生长方法,掺杂离子,光学性质和电学性质。β-Ga2O3可以作为GaN基LEDs的潜在衬底,同时它也在MOSFET和紫外光探
【作 者】
:
张宏哲
王林军
夏长泰
赛青林
肖海林
【机 构】
:
上海大学,中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
:
人工晶体学报
【发表日期】
:
2015年11期
【关键词】
:
β-Ga2O3
晶体生长
LED
MOSFET
紫外光探测器
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本论文综述了宽禁带半导体β-Ga
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材料的研究进展,包括晶体结构,生长方法,掺杂离子,光学性质和电学性质。β-Ga
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O
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可以作为GaN基LEDs的潜在衬底,同时它也在MOSFET和紫外光探测器方面有着重要的应用前景。
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