【摘 要】
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采用射频辉光放电聚合技术,在低压等离子体聚合装置上开展在5～20W功率下氘代辉光放电聚合物薄膜的制备及性能研究.利用傅里叶变换红外吸收光谱仪表征薄膜的化学结构,讨论了功
【机 构】
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四川大学原子与分子物理研究所,中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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采用射频辉光放电聚合技术,在低压等离子体聚合装置上开展在5～20W功率下氘代辉光放电聚合物薄膜的制备及性能研究.利用傅里叶变换红外吸收光谱仪表征薄膜的化学结构,讨论了功率变化对其官能团结构的影响规律.利用元素分析仪和纳米压痕仪表征薄膜中氘原子的相对含量和薄膜的力学性能.研究表明：随着功率的升高,薄膜中的氘含量先升高后降低,在10W时达到最大,薄膜中SP3CD的相对含量增加,SP3CD2的相对含量减小;聚合物薄膜的硬度和杨氏模量均随功率的增加而减小.
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