【摘 要】
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为探究聚二甲基硅氧烷（PDMS）基体在等离子法下以不同工艺参数处理及处理后在不同键合时间,键合加载压力下的PDMS-PDMS键合效果,设计进行了3因素4水平正交试验及对比试验。试验
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（11372269）资助
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为探究聚二甲基硅氧烷（PDMS）基体在等离子法下以不同工艺参数处理及处理后在不同键合时间,键合加载压力下的PDMS-PDMS键合效果,设计进行了3因素4水平正交试验及对比试验。试验结果表明：因素影响从主到次的顺序为空气流量、改性时间、射频功率,得到快速不可逆键合（键合5 min）工艺参数：400 W,2.5 L/min,2 min;中、高射频功率（300 W以上）键合10 h键合效果达到实验要求,低射频功率（200 W以下）键合超过24 h仍未达到试验要求;当键合加载压力超过0.4 MPa时,键合效果显著
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