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以甲基苯基二氯硅烷和二乙胺为原料,低温下反应,合成了双（N,N-二乙基）氨基甲基苯基硅烷。通过正交试验方法考察了反应温度、反应介质、原料量之比以及反应时间等因素对目标产物产率的影响,利用红外光谱、核磁共振等手段对产物结构进行了表征和确认。利用方差分析确定的最佳反应条件为反应温度-15℃、溶剂为乙醚,二乙胺与甲基苯基二氯硅烷的量之比为5∶1、反应时间为6h。反应体系中加入三乙胺作为酸吸收剂、且用量为甲基苯基二氯硅烷的2倍时也可提高目标产物的产率;加入三乙胺后还可使铵盐副产物的后处理更易进行。