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针对IC装备的视觉系统在复杂条件下很难快速、精确定位这一问题,提出了基于小波变换和径向基函数(RBF)网络算法,此算法提取图像归一化小波系数作为特征矢量,对目标图像特征进行学习,得到RBF分类器,利用它在背景图像上进行目标定位。仿真实验表明,此算法可以实现在旋转、平移、尺度变化和噪声条件下的快速定位,定位精度达到亚像素级。